一、 概述:
参照硅片电阻率测量的标准(ASTM F84)及国家标准设计制造该仪器设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》,采集高精密集成电路恒流源系统,提供便捷的操作模式,便携式外形结构,可充电式电源系统,中英文语言版本.
二、 功能介绍:
便携式外形结构更加适用于车间生产、品管抽检,外出携带测量等要求快速便捷测量的场所;也适用于中小型半导体材料生产企业.具有高性价比优势.
液晶显示,显示方阻、电阻率、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度,样品厚度单位从米到纳米均可输入,自动测量、质量轻便,操作简便;
三、适用范围:
广泛用于:覆盖膜;导电高分子膜,高、低温电热膜;隔热、防辐射导电窗膜 导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸;金属化标签、合金类箔膜;熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层,电阻式、电容式触屏薄膜;电极涂料,其他半导体材料、薄膜材料
硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻 半导体材料/晶圆、太阳能电池、电子元器件,导电薄膜(ITO导电膜玻璃等),金属膜,导电漆膜,蒸发铝膜,PCB铜箔膜,EMI涂层等物质的薄层电阻与电阻率 导电性油漆,导电性糊状物,导电性塑料,导电性橡胶,导电性薄膜,金属薄膜,抗静电材料, EMI 防护材料,导电性纤维,导电性陶瓷等.
四、技术参数资料
规格型号 |
FT-394A |
FT-394B |
FT-394C |
1.方块电阻范围 |
0.001~2.00×102Ω/□ |
0.001~2.00×103Ω/□ |
0.001~2.00×104Ω/□ |
2.电阻率范围 |
0.0001~2×103Ω-cm |
0.0001~2×104Ω-cm |
0.0001~2×105Ω-cm |
3.分辨率 |
0.001Ω |
0.001Ω |
0.001Ω |
4.显示读数 |
液晶显示:电阻率、方阻、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 |
||
5.测试方式 |
单电测量 |
||
6.工作电源 |
5V,1000mA |
||
7.整机不确定性 |
≤4.5%(标准样片结果) |
||
8.选配 |
选配1.方形探头; 选配2.直线形探头;探针间距;选配3:探针间距1mm;2mm;3mm三种规格; 选配4:探针材质:碳化钨针;镀金磷铜半球形针 |